Japanese ソフトリソグラフィ Cited by user X-enon147 on 15 Aug 2020 ソフトリソグラフィ(soft lithography)とは微細な鋳型にシリコーン樹脂などの「やわらかいもの」を流し込み、そのまま硬化させることで微細な立体構造を転写する技術。 == 概要 == 従来のマイクロマシニング技術と比較して、一度、モールド(鋳型)作成すれば、以後の転写工程ではフォトリソグラフィなどの工程を必要とせず、簡便に構造体を…