Japanese 走査型静電容量顕微鏡法 Cited by user X-enon147 on 25 Aug 2020 走査型静電容量顕微鏡法（そうさがたせいでんようりょうけんびきょうほう、）は、顕微鏡法の一手法。 == 概要 == 走査型静電容量顕微鏡法とは原子間力顕微鏡(AFM)の探針を導電性コーティングして半導体表面を走査することで電気容量の変化を測定することによってキャリア分布を二次元的に可視化する手法。半導体にAFMの探針を接触させると接触箇所はM…